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产品简介
LISICO 乐思科 3D光学干涉轮廓仪采用全新的、高精度干涉图谱成像控制、精密计算技术。
优势：
降低三维纳米显微技术产品化的成本
扩大技术的测量范围
拥有独立自主的核心技术
统一的核心技术平台、针对不同的产业，不同的辅助软件、辅助硬件配置，系列检测技术和系统
多年半导体检测技术研发和产业化经验
所有的关键硬件来自美国、德国日本等
PI，纳米移动平台及控制
Nikon，干涉物镜
NI，信号控制板和Labview64控制软件
TMC 隔震平台
计算机软硬件技术平台
VS2012/64位，.NET/C#/WPF
Intel Xeon 计算机
原理：
干涉测量技术:快速灵活、超纳米精度、测量精度不受物镜倍率影响
应用
1. 在太阳能产业的应用
激光开孔形貌图，薄膜太阳能电池技术
2. 在集成电路产业的应用
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